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''KB番号：''132
''概要説明：''工業地帯による短い電極間、基盤高電圧電極間の配線の断線、短絡、汚染
''ストレス大分類：''環境ガス汚染
''ストレス小分類：''工業地帯
''故障メカニズム大分類：''ダスト
''故障メカニズム小分類：''
''故障フェーズⅠ：''
''故障フェーズⅡ：''
''故障モード：''配線の断線、短絡、汚染
''アイテム：''短い電極間、基盤高電圧電極間
''故障の発生原理：''
''故障モードの検出：''ＳＥＭ
''故障モードの検出：''[[SEM>tag/sem]]
#region(SEM)
SEM
走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope)
#endregion
''主な業界・分野：''プラント、電子デバイス、環境
''抑制対策(再発防止策)：''
''抑制対策(評価基準)：''
''備考：''
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#set_tags(工業地帯による短い電極間、基盤高電圧電極間の配線の断線、短絡、汚染,環境ガス汚染,工業地帯,ダスト,,,,配線の断線、短絡、汚染,短い電極間、基盤高電圧電極間,,ＳＥＭ,プラント、電子デバイス、環境)
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