シンビオ社会研究会 原子力WEB教材


KB番号/111高電圧+時間による集積回路の絶縁破壊 の変更点


''KB番号:''111

''概要説明:''高電圧+時間による集積回路の絶縁破壊

''ストレス大分類:''電界

''ストレス小分類:''高電圧+時間

''故障メカニズム大分類:''TDDB

''故障メカニズム小分類:''

''故障フェーズⅠ:''酸化膜の薄膜化

''故障フェーズⅡ:''

''故障モード:''絶縁破壊

''アイテム:''集積回路

''故障の発生原理:''定性的なメカニズムとして、以下の2つがあげられている。 ・正電荷起因モデル ・電子およびホールトラップモデル

''故障モードの検出:''[[SEM>tag/sem]]
#region(SEM)
SEM

走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope)
#endregion

''主な業界・分野:''電子デバイス、高分子材料、電力

''抑制対策(再発防止策):''

''抑制対策(評価基準):''

''備考:''

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#set_tags(高電圧+時間による集積回路の絶縁破壊,電界,高電圧+時間,TDDB,,酸化膜の薄膜化,,絶縁破壊,集積回路,定性的なメカニズムとして、以下の2つがあげられている。 ・正電荷起因モデル ・電子およびホールトラップモデル,SEM,電子デバイス、高分子材料、電力)
#set_tags(高電圧+時間による集積回路の絶縁破壊,電界,高電圧+時間,TDDB,,酸化膜の薄膜化,,絶縁破壊,集積回路,定性的なメカニズムとして、以下の2つがあげられている。 ・正電荷起因モデル ・電子およびホールトラップモデル,SEM,電子デバイス、高分子材料、電力)