''KB番号:''121 ''概要説明:''MOSFETのドレインへの電圧印加による集積回路の動作スピードの遅れ ''ストレス大分類:''電界 ''ストレス小分類:''MOSFETのドレインへの電圧印加 ''故障メカニズム大分類:''素子や酸化膜の劣化(ホットキャリア) ''故障メカニズム小分類:'' ''故障フェーズⅠ:''酸化膜中へのキャリア注入(特性変動) ''故障フェーズⅡ:''素子劣化 ''故障モード:''動作スピードの遅れ ''アイテム:''集積回路 ''故障の発生原理:''(劣化寿命と基盤電流の関係) ''故障モードの検出:''SEM ''故障モードの検出:''[[SEM>tag/sem]] #region(SEM) SEM 走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope) #endregion ''主な業界・分野:''電子デバイス、高分子材料、電力 ''抑制対策(再発防止策):'' ''抑制対策(評価基準):'' ''備考:'' #generate_tags() #set_tags(MOSFETのドレインへの電圧印加による集積回路の動作スピードの遅れ,電界,MOSFETのドレインへの電圧印加,素子や酸化膜の劣化(ホットキャリア),,酸化膜中へのキャリア注入(特性変動),素子劣化,動作スピードの遅れ,集積回路,(劣化寿命と基盤電流の関係),SEM,電子デバイス、高分子材料、電力) #set_tags(電界,MOSFETのドレインへの電圧印加,素子や酸化膜の劣化,,酸化膜中へのキャリア注入,素子劣化,動作スピードの遅れ,集積回路,SEM,電子デバイス、高分子材料、電力)