''KB番号:''123 ''概要説明:''高温電圧によるMOSデバイスの動作スピードの遅れ ''ストレス大分類:''電界 ''ストレス小分類:''高温電圧 ''故障メカニズム大分類:''スロートラップ ''故障メカニズム小分類:'' ''故障フェーズⅠ:''電荷によるSi表面電位の変動 ''故障フェーズⅡ:''電気的特性の安定性や再現性へ影響 ''故障モード:''動作スピードの遅れ ''アイテム:''MOSデバイス ''故障の発生原理:'' ''故障モードの検出:''SEM ''故障モードの検出:''[[SEM>tag/sem]] #region(SEM) SEM 走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope) #endregion ''主な業界・分野:''電子デバイス、高分子材料、電力 ''抑制対策(再発防止策):'' ''抑制対策(評価基準):'' ''備考:'' #generate_tags() #set_tags(高温電圧によるMOSデバイスの動作スピードの遅れ,電界,高温電圧,スロートラップ,,電荷によるSi表面電位の変動,電気的特性の安定性や再現性へ影響,動作スピードの遅れ,MOSデバイス,,SEM,電子デバイス、高分子材料、電力) #set_tags(電界,高温電圧,スロートラップ,,電荷によるSi表面電位の変動,電気的特性の安定性や再現性へ影響,動作スピードの遅れ,MOSデバイス,,SEM,電子デバイス、高分子材料、電力)