シンビオ社会研究会 原子力WEB教材


KB番号/123高温電圧によるMOSデバイスの動作スピードの遅れ の変更点


''KB番号:''123

''概要説明:''高温電圧によるMOSデバイスの動作スピードの遅れ

''ストレス大分類:''電界

''ストレス小分類:''高温電圧

''故障メカニズム大分類:''スロートラップ

''故障メカニズム小分類:''

''故障フェーズⅠ:''電荷によるSi表面電位の変動

''故障フェーズⅡ:''電気的特性の安定性や再現性へ影響

''故障モード:''動作スピードの遅れ

''アイテム:''MOSデバイス

''故障の発生原理:''

''故障モードの検出:''SEM
''故障モードの検出:''[[SEM>tag/sem]]
#region(SEM)
SEM

走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope)
#endregion

''主な業界・分野:''電子デバイス、高分子材料、電力

''抑制対策(再発防止策):''

''抑制対策(評価基準):''

''備考:''

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#set_tags(高温電圧によるMOSデバイスの動作スピードの遅れ,電界,高温電圧,スロートラップ,,電荷によるSi表面電位の変動,電気的特性の安定性や再現性へ影響,動作スピードの遅れ,MOSデバイス,,SEM,電子デバイス、高分子材料、電力)
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