''KB番号:''156 ''概要説明:''電源電圧による超LSI(場所による)0.2μm以下GaAs、InPの断線、開放 ''ストレス大分類:''特殊故障 ''ストレス小分類:''電源電圧 ''故障メカニズム大分類:''ホットエレクトロン・バリスティック輸送 ''故障メカニズム小分類:''インパクトイオン化 ''故障フェーズⅠ:''電流密度の上昇 ''故障フェーズⅡ:''ボイドの発生 ''故障モード:''断線、開放 ''アイテム:''超LSI(場所による)0.2μm以下GaAs、InP ''故障の発生原理:'' ''故障モードの検出:''[[SEM>tag/sem]] #region(SEM) SEM 走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope) #endregion ''主な業界・分野:''電子デバイス ''抑制対策(再発防止策):'' ''抑制対策(評価基準):'' ''備考:'' #generate_tags() #set_tags(電源電圧,ホットエレクトロン・バリスティック輸送,インパクトイオン化,電流密度の上昇,ボイドの発生,断線、開放,超LSI0.2μm以下GaAs、InP,SEM,電子デバイス) Artclies like this are an example of quick, helpful answers.